您的Amod拥有500mm x 500mm的底板，可容纳多达10种来源和各种PVD工艺。 您的研究目标，生产需求和/或应用程序的最终目标将告诉您如何装备您的Amod。 我们共同合作，设计出完全符合您要求的系统。
与他们的客户的服务水平和连接性，一天中的任何时间回答你的电子邮件，帮助你从远方拍摄麻烦，超出了我以前见过的。 这种互动使得我成为一个难以置信的客户。
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该PVD平台开始允许更大的室投射距离，以及适应更多过程增强的能力
AMOD PVD平台
一个紧凑，经济，全面的PVD工作
凯西史密斯博士 - 德克萨斯州立大学
AERES高级过程控制软件

简单易用且高度精密

 

PC/PLC 控制配方，适用于单个、批量或自动化流程

 

先进的数据记录和工艺跟踪功能可确保工艺的一致性和可重复性

 

高分辨率控制可提供令人印象深刻的低速率稳定性和一致的掺杂比率

 

中央控制站管理每个模块，并对每个炉室的工艺进行调度

 

可独立控制多个腔室（如适用）

 

可轻松创建和修改复杂的配方

 

自动 PID 控制环路调整大大缩短了工艺开发时间

可编程扫描控制器确保蒸镀速率的精确控制
多样化的蒸发舟和加热丝及坩埚加热器
用于清洁和电影增强的离子源范围
等离子和离子束加工
扭矩传感坩埚分度器检测到卡纸
圆形，线性和圆柱形阴极可用
可编程扫描控制器配方存储
RF，DC，脉冲DC和HiPIM
各种源电源和电源选项
房间内有多个电子束源
辉光放电等离子体清洗
电阻式热蒸发
沉积源选项
电子束蒸发
溅射

当我们一起工作时，会发生惊人的事情。 您与我们创新团队的辉煌创意将创造出将使您的研究或生产达到新的水平的工具。 我们期待着您的回音：

请联系我们，我们可以协助您的项目
我们想听听您的过程！