实际稳定性，同时沉积普通OLED材料（Alq3），每秒0.02埃
无需手动调整PID值或花费时间进行模拟运行
Aeres可实现令人印象深刻的低速率稳定性
用户可调PID检测算法（自整定）
大大降低了流程开发时间
高精度沉积控制

当我们一起工作时，会发生惊人的事情。 您与我们创新团队的辉煌创意将创造出将使您的研究或生产达到新的水平的工具。 我们期待着您的回音：

请联系我们，我们可以协助您的项目
我们想听听您的过程！
넓保持联系
并行任务管理是后台处理的自动和同时控制，包括源的准备，掩模和样品转移，功率和温度管理以及阶段准备
我们的合作伙伴反映过渡时间减少了45％，整个设备制造效率提高了30％，如下所示
由于Aeres并行管理任务的能力，设备总时间大大减少
层次转换效率
自动化 - 一键启动，使系统执行流程运行的所有动作，具有精确的可重复性
Aeres可以完全自主运行，或者您可以根据需要构建手动控制到程序
从远程PC构建程序，然后将程序无缝传输到沉积系统PC以供使用
统一的数据管理系统收集并记录所有相关的流程信息
使用加载的模板来使用，或从头构建自定义序列
样品台控制 - 加热，冷却，旋转，角度和偏置
气体和压力 - 压力稳定性和精确的气体输送
每一步操作都会提供统一的工艺
预沉积 - 晶片准备，源的预热和稳定
层控制 - 厚度，速率，挡板和源空闲
根据需要创建简单或复杂的程序
RECIPE控制
凭借25年的丰富经验帮助我们的合作伙伴实现其工艺要求，我们创建了Aeres，这是一个解决薄膜沉积技术众所周知的限制的软件平台。 当Aeres与我们的PVD平台结合时，您将拥有一个智能工具，可为您节省大量时间，精力和资源。
功能强大，适用于最先进的用户和复杂的工艺，对于每个用户，都会使实验变得简单。
Angstrom的客户的服务水平和时效性，几乎一天中的任何时间都会回答你的电子邮件，帮助你进行远程服务，超出了我以前见过的。 这种互动使得我成为一个忠实的客户。
一旦配方发送到PLC，安全联锁，真空操作，胶片生长和晶片操作都由控制器排除，无论PC是连接还是运行
单个终端可以控制多个房间，每个房间都有独特的配方
统一的数据管理系统收集并记录所有相关的流程信息
来自Angstrom工程团队的全程培训和故障排除支持
建立在.NET基础架构上，并准备好SECS / GEM
在Windows®PC上运行，具有触摸屏兼容性
凯西史密斯博士 - 德克萨斯州立大学
完整和彻底测试安全和互锁系统
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高精度镀膜控制软件
AERES