可容易地安装高达Φ100 mm 的基板尺寸
腔室可容纳2或4个热阻源
过程模块选项
沉积源之间是相互隔离的，以减少热影响和交叉污染。 它配备了一整套可拆卸的腔室内屏蔽罩，使室内容易清洁和维护。 腔室打开时会切断气压及电源，确保了最高的安全等级。 它可以集成到手套箱中或在独立配置中选择。
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在我使用的所有系统中，Angstrom的是最可靠，一致和易于使用的系统。
马克·巴尔多博士 - 麻省理工学院
Covap系列为许多工艺应用提供了紧凑，经济，但仍然强大的解决方案。 专为实验室设计，需要一个安全可靠的工具，可在紧凑的占地面积中生产可重复的高品质薄膜
Covap提供无障碍通道，用于去除屏幕，清洁和准备系统以进行下一次运行
QCM传感器相互间隔离，以确保没有相邻源材料的干扰
材料和样品即使在手套箱中也可以轻松安装取放
2年保修期内业内最具响应能力的支持团队
样品台支持最大Φ100mm的基板
矩形腔室，取放样品无障碍
涡轮分子泵提供的高真空度
600mm x 1000mm
过程模块选项
可以与手套箱整合
程序高级多层控制
2或4个源配置
系统占地面积
顺序或共沉积
全套系统培训
紧凑型：
可选择
COVAP PVD平台

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