如果需要,可以向电子束添加可编程扫描,以允许定制加热坩埚中的材料。 尽管一些材料,如铝,可以容易地从电阻源蒸发,电子束蒸发源允许沉积更大量的材料,并且可以实现更高的速率。 在蒸发过程中,将坩埚放置在水冷铜炉底中,这样可以增加坩埚寿命。 此外,如果多个材料需要顺序沉积而不破坏真空,我们的电子束源可以配备多个口袋的转盘。
我们的客户使用由AE公司生产的电子束蒸镀系统蒸发沉积各种材料。 这些材料中的一些包括作为太阳能电池应用中的电接触的金,用于光学膜的二氧化硅,以及许多其它材料。 我们可以创建定制工具,将电子束源与其他类型的沉积方法集成,以满足您的处理需求。
电子束蒸发镀膜技术是一种利用高能电子束对材料进行加热的方法,使其达到升华点从而蒸发,并在基底表面沉积形成薄膜的过程。 电子束的能量转移到材料中,使其开始蒸发。 许多金属,如铝,将首先融化,然后开始蒸发,而陶瓷将升华。 然后,材料蒸气从坩埚中出来并涂覆基材。
电子束蒸发是强大的物理气相沉积过程,允许用户蒸发难以甚至不可能使用标准电阻热蒸发处理的材料。 这些材料中的一些包括高温材料如金和钛,以及一些陶瓷如二氧化硅和氧化铝。
电子束蒸发
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