高分辨率控制提供令人印象深刻的低速率稳定性和一致的掺杂比
高级数据记录和过程跟踪确保一致和可重复的过程
中央控制站管理每个模块并安排每个舱室的过程
自动PID控制回路调整可显着缩短过程开发时间
AERES高级过程控制软件
独立控制多个室(适用于集群或连接配置)
PC / PLC控制的单,批或自动过程的配方
复杂的食谱可以轻松创建和修改
易于使用的高级集成软件平台
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从配方制作到影片的最终制作,Apex可以完全简单地控制您的光学胶片。 30个可见光盘存储在自动芯片更换器中,用于实现数据反馈,您可以使用可以生成350-2500纳米波长的PC控制单色仪来确认您的胶片。
一个强大的工具,同时具有光学监测和沉积控制的所有方面
Apex可以与许多PVD平台配合使用,可以实现光学监控和无缝过程控制。
系统和软件与The Essential Macleod软件包一起工作
每一个光学性能必需的组件
发光薄膜控制
带芯片更换器的透射模式光接收器
带单色仪的光发射机
所有来源和阶段选项
反射模式光接收机
空心阴极电子源
End Hall离子源

当我们一起工作时,会发生惊人的事情。 您与我们创新团队的辉煌创意将创造出将使您的研究或生产达到新的水平的工具。 我们期待着您的回音:

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