量子系列物理气相沉积平台涵盖了对量子计算研究和商业开发至关重要的各种制造工艺。一个量子系列系统可以专注于一个制造过程,也可以包括几个原位的制造过程。我们定期制造和提供专门用于铝基约瑟夫森结的量子系列系统,溅射铌等超导材料,以及专门用于制造铟凸点的系统。
Angstrom在世界各地安装了80多个用于阴影蒸发的不同规格样品台,已经完善了设计,创造了一个可重复的、通用的和坚固的设备。Quantum Series约瑟夫逊结制造系统,还可提供多种工艺,包括基底加热、冷却和负偏。
控制站PC管理Quantum系列的每个控制变量,包括沉积源、离子源、功率输出、角度定位和氧化过程。
Quantum系列约瑟夫逊结制造系统可确保纯均匀氧化物层的可重复生长,可适应静态氧化、动态氧化以及等离子体和紫外线/臭氧氧化,采用了强大的气体净化系统、实时氧化物生长监测和直接光学晶片温度监测,使氧化层具有可定制性、可重复性和可靠性。
Angstrom Engineering公司的工艺源可为不同的超导体提供定制化的工艺调整。多穴电子束(e-beam)源在制造铝基结方面有良好的记录。Angstrom Engineering的合作伙伴已经成功地、持续地利用溅射工艺系统制造超导铌的薄膜。沉积源管理的操作都可以通过先进的工艺控制软件Aeres简单控制。
我们的合作伙伴制作的约瑟夫森结达到了既定的量子位基准。这些量子位使用量子系列设备制造,并由加拿大安大略省滑铁卢大学量子计算研究所(
是量子计算硬件先驱,开发了一系列设备,支持在高度可重复和自动化的系统中可靠、成功地创建超导电路及其支持硬件。
可重复、可控制的工艺流程
新一代约瑟夫森结、超导溅射和铟块
自动跟踪和记录来自光学监测仪、椭圆仪或QCM的反馈信息
沉积高质量的超导电极
先进的数据记录和过程跟踪确保过程的一致性和可重复性
Dr. Shimon Eliav - Hebrew University of Jerusalem
PC/PLC控制的配方适用于单一、批量或自动过程
种植均匀的隧道结
自动PID控制回路调整大大减少了工艺开发时间
精确的阴影蒸发
三维传感量子比特
可轻松创建和修改复杂的配方
Angstrom Engineering
先进操作的集成软件平台
量子系列
进行了独立鉴定
成果
IQC
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