PVD平台

箱式镀膜机

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Nexdep 系列

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紧凑,经济,功能齐全的PVD主打型号。 节省空间,可实现多种形式的PVD镀膜,包括热蒸发、电子束蒸发及磁控溅射。 样品台最大尺寸直径6英寸。 机柜尺寸:600mm x 1000mm

Amod 系列

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蒸镀腔室大小适中。  Amod腔室尺寸居于EvoVac和Nexdep之间。 Amod功能更加强大,为您提供更高端的选择。 基板最大尺寸:200mm x 200mm  机柜尺寸1600mmx1000mm

EvoVac 系列

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标准型号中的最大腔室,可集成多种PVD镀膜方式及更多的蒸发源布置。 Evovac是我们功能最强的单室PVD设备。 它为多个沉积源提供了最大的腔室,并且可以按照用户的要求进行多种定制化的生产。 基板最大尺寸:200mm x 200mm  机柜尺寸1600mmx1000mm

Nebula Cluster集群设备系列

半自动 /全自动集群

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这种大型可多样配置的多腔室系列具有全自动机械手和自动化控制功能,可以在不破坏真空的情况下实现连续不间断的多腔室之间的蒸镀。 这些选项和配置很多,包括快速,可靠和可重复的进程。 各种自动化控制及高精度的工艺控制,大大提高了薄膜制备的效率。

Covap 系列

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 Covap是我们最紧凑和最经济的PVD设备,适用于许多工艺应用。 尤其适合热蒸发制备金属薄膜。设备外观整洁,占地面积小,性价比高。 可装载基板最大尺寸:直径100mm。

线性磁控溅射设备

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该系统具有巨大的矩形溅射源,可以自动批量处理大量的基片。

LPCVD

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我们的低压真空化学气相沉积(LPCVD)系统旨在满足石墨烯和CNT研究的高温要求。

空间模拟

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我们的环境空间模拟系统,充分满足航空航天领域研究人员和工程师在发射前,模拟各种气氛和温度下测试设备的需求。

环境模拟系统

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我们的系列环境模拟系统,为科学家提供各种压力环境进行研究创造了条件。

量子系列

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离子源溅射系统

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对接手套箱

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