这种装置可以用多种超导材料来创建,但铝创建高质量的氧化物相对容易,是研究人员的常见选择,而且它的熔点相对较低(660℃),使它具有通用性。以下是建造约瑟夫森结的设备的关键考虑因素。
我们希伯来大学很高兴和与Angstrom Engineering合作:团队年轻,积极主动,提供一流的服务。Angstrom Engineering是在几家知名公司中经过严格的采购过程后被选中的。在选择过程中,涉及许多互动和对真实、复杂样品的演示。他们在整个过程中的表现和态度是完美的,Quantum系列蒸发系统是我们的研究人员的适合的工作的设备。
Dr. Shimon Eliav – Hebrew University of Jerusalem
系统基于计划创建的结的类型,以及具体产量、材料和基础设施要求。我们的合作伙伴正在不同大小和设计的系统上创建约瑟夫森结,但有共同点:至少有一个用于隔离氧化的负载锁、一个沉积室、一个可变角度的样品台、电子束或溅射源,以及Angstrom Engineering的所有薄膜经验和服务支持。
约瑟夫森电路对污染物敏感。所以蒸发和氧化在独立的密封室,一个用于蒸发,一个用于氧化。在氧化室和沉积室之间,通过先进的工艺控制软件Aeres,使用负载锁和可编程的配方驱动自动化,实现了完美的隔离。两个室是电抛光的不锈钢,以最大限度地减少废气,且室之间的转移是在原位进行的,以最大限度地减少排放。
在某些应用中,约瑟夫森结最重要的参数是其临界电流密度,这是由两个铝层之间的绝缘氧化层的厚度决定的。该绝缘层必须尽可能地薄,这使得控制该薄膜的氧化方式变得极为重要。质量流量控制器(由Aeres、Angstrom自己的过程控制软件进行用户调节)可以对这个变量进行精确和可重复的控制。
在创造约瑟夫森结的过程中,精确地调整与沉积流有关的基片角度是至关重要的。下图说明了创建这些设备的一种方法。安斯特罗姆的可 变角度平台的倾斜角度具有优于0.1°的角度重复性。基片加热和冷却都可以集成到平台的功能中。角度、平台旋转和平台温度是通过我们的Aeres软件包的基于配方的用户输入来控制的。只需输入所需的值,按开始,然后返回,就可以找到你完成的约瑟夫森结。
一些用于创建约瑟夫森结的材料(如铌)需要使用磁控溅射。溅射源可以无缝地集成到您的薄膜沉积平台。
我们创建的约瑟夫森平台可支持多个连接(但相互隔离)的腔室,用于替代沉积方法和分析工具,所有这些都集成到整体工艺自动化中。这就形成了不同配置的,从双室(沉积/loadlock)到双系统,一直到包含沉积、氧化和分析站的机器人集群阵列。
约瑟夫森结是超导量子比特的核心,是创建容错量子计算的主要选择。约瑟夫森结的非线性电感在其能级谱中产生了非谐波性。这允许在离散能级之间建立量子力学基础(1或0),对于形成量子比特或量子位至关重要。约瑟夫逊结也可以用来探测极小的磁场,比冰箱磁铁产生的磁场小1016倍。这些超导量子干涉装置,或称SQUIDS,在检测大脑神经活动、材料的科学表征以及下一代超低场MRI扫描仪等方面都有应用。
我们专有的Auto Tune PID检测算法会自动计算并利用特定材料、速率、压力和特定蒸发所需的稳定性的过程控制变量。
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