凭借其可定制的底板和尺寸，盒式镀膜机PVD（物理气相沉积）平台可以适应各种来源和工艺。您的研究目标、生产需求和/或应用的最终目标将决定如何装备您的盒式镀膜机。它非常适用于各种应用，包括金属化、光学涂层、传感和铟凸块的制造。让我们一起合作，设计出完全适合您要求的系统。
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箱式镀膜机是一个灵活的、与洁净室兼容的镀膜平台，能够小批量到大批量地生产100毫米、150毫米、200毫米和300毫米的基材。其外形尺寸提供了出色的膜厚均匀性，并为先进的夹具选项提供了充足的空间。所有的箱式镀膜机平台配置都能够主动建模并纠正膜厚不均匀性、材料产量和产量。

EvoVac设计非常棒，对接手套箱，方便使用。 去年，这一天用了2269个小时，每天平均每天超过6小时。 它是我们设施中使用最多的设备，对许多研究项目至关重要。 设备故障率低。 Angstrom Engineering提供的技术服务非常棒。

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本视频概述了我们与合作伙伴密切合作提供技术解决方案的一个实例
高分辨率控制提供令人印象深刻的低速率稳定性和一致的掺杂比
高级数据记录和过程跟踪确保一致和可重复的过程
中央控制站管理每个模块并安排每个舱室的过程
自动PID控制回路调整可显着缩短过程开发时间
PC / PLC控制的单，批或自动过程的配方
AERES高级过程控制软件
复杂的食谱可以轻松创建和修改
易于使用的高级集成软件平台
独立控制多个室（如果适用）
基板固定和屏蔽选项

伊萨马丁博士 - 西西大学

箱式镀膜机
用于清洁和电影增强的离子源范围
等离子和离子束加工
扭矩传感坩埚分度器检测到卡纸
圆形，线性和圆柱形阴极可用
可编程扫描控制器配方存储
可编程扫描控制器配方存储
RF，DC，脉冲DC和HiPIM
各种源电源和电源选项
各种源电源和电源选项
房间内有多个电子束源
辉光放电等离子体清洗
沉积源选项
电子束蒸发
电子束蒸发
可变角度阶段

行星样品架

滚动加工
掩膜板
溅射
加热

偏压

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