线性溅射磁控设备-昊臣科学仪器（上海）有限公司

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在非常大的基板上创建设备，在一个单一的运行中堆叠多层，均匀性很好。即使目标比通常大，材料也被非常有效地利用。

该系列系统允许在大型基板上生产高产量，可以无缝集成到更大的生产工具集群中，并提供令人印象深刻的均匀性。

高分辨率控制提供令人印象深刻的低速率稳定性和一致的掺杂比

高级数据记录和过程跟踪确保一致和可重复的过程

中央控制站管理每个模块并安排每个舱室的过程

自动PID控制回路调整可显着缩短过程开发时间

PC / PLC控制的单批或自动过程的配方

AERES高级镀膜控制软件

复杂的食谱可以轻松创建和修改

线性磁控溅射

把您的产品交给市场的工具

易于使用的高级集成软件平台

独立控制多个室（如果适用）

当我们一起工作时，会发生惊人的事情。您与我们创新团队的辉煌创意将创造出将使您的研究或生产达到新的水平的工具。我们期待着您的回音：

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